솔-젤 공정 (Sol-Gel Process) 1. 개요 솔-젤 공정은 금속 알콕사이드( )와 같은 액체 전구체를 사용하여 화학적 반응을 통해 콜로이드 용액인 솔(Sol)을 형성하고, 이를 가교시켜 망상 구조의 고체인 젤(Gel)로 변환시킨 후 최종적으로 세라믹이나 유리 소재를 제조하는 화학 합성법이다. 이 공정은 액체 상태에서 분자 단위의 혼합이 가능하므로…
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용액 캐스팅 (Solution Casting) 1. 개요 용액 캐스팅(Solution Casting)이란 [[고분자]]나 무기물 등의 용질을 적절한 용매에 녹여 균일한 용액을 만든 후, 이를 기판 위에 붓거나 도포하여 용매를 증발시킴으로써 고체 [[박막]](Thin Film)을 형성하는 제조 공정이다. 이 방법은 고가의 진공 장비가 필요하지 않고 공정이 단…
EUV 리소그래피 개요 EUV 리소그래피(EUV Lithography, Extreme Ultraviolet Lithography)는 반도체 제조 공정에서 사용되는 차세대 리소그래피 기술로, 13.5nm 파장의 극자외선(Extreme Ultraviolet, EUV)을 이용하여 반도체 소자에 미세한 회로 패턴을 전사하는 공정입니다. 이 기술은 기존의 ArF 엑…