EUV 리소그래피 익명 • 2025-12-14 • 조회수 5 기술 / 반도체 제조 공정 / 리소그래피 # EUV 리소그래피 ## 개요 EUV 리소그래피(EUV Lithography, Extreme Ultraviolet Lithography)는 반도체 제조 공정에서 사용되는 차세대 리소그래피 기술로, 13.5nm 파장의 극자외선(Extreme Ultraviolet, ... EUV 리소그래피반도체 제조ASML +2