마이크로 전기기계 시스템

마이크로 전기기계 시스템 개요 마이크로 전기기계 시스템(Micro-Electro-Mechanical Systems, 이하 MEMS)는 마이크로미터(μm) 수준의 크기를 가진 기계적 구조와 전자 회로를 반도체 제조 기술을 활용해 통합한 소형 시스템입니다. MEMS는 기계…