# 레이저 간섭계 (Laser Interferometer) ## 개요 **레이저 간섭계(Laser Interferometer)**는 레이저 광원의 간섭 현상을 이용하여 미세한 길이 변화, 굴절률 변화, 진동, 표면 형상 등을 극도로 정밀하게 측정하는 계측 장비입니다. '간섭계(Interferometer)'라는 용어는 빛의 파동성 중 하나인 간섭(Inte...
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# High Numerical Aperture EUV ## 개요 **Highical Aperture EU**(High-NA EU)는 차세 반도체 리그래피 기술로서 기존의 극자외선(EUV, Extreme Ultr) 리소그래피를전시켜 더욱세한 반도체턴을 형성하기 위한 핵심 기술입니다 반도체 산은 지속적인 미세화(Moore Law)를 위해소그래피의 해상도 향...