레이저 간섭계 (Laser Interferometer) 개요 레이저 간섭계(Laser Interferometer)는 레이저 광원의 간섭 현상을 이용하여 미세한 길이 변화, 굴절률 변화, 진동, 표면 형상 등을 극도로 정밀하게 측정하는 계측 장비입니다. '간섭계(Interferometer)'라는 용어는 빛의 파동성 중 하나인 간섭(Interference) 원…
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High Numerical Aperture EUV 개요 Highical Aperture EU(High-NA EU)는 차세 반도체 리그래피 기술로서 기존의 극자외선(EUV, Extreme Ultr) 리소그래피를전시켜 더욱세한 반도체턴을 형성하기 위한 핵심 기술입니다 반도체 산은 지속적인 미세화(Moore Law)를 위해소그래피의 해상도 향이 필수적이며, Hi…