CMM (Coordinate Measuring Machine, 3차원 측정기) 1. 개요 CMM(Coordinate Measuring Machine, 3차원 측정기)은 물리적 대상물의 표면에서 3차원 공간상의 좌표(X, Y, Z)를 정밀하게 측정하여, 측정물의 기하학적 형상, 치수 및 위치 공차를 분석하는 정밀 측정 장비이다. 현대 정밀 제조 산업에서 CM…
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"웨이퍼 스테이지"에 대한 검색 결과 (총 2개)
TWINSCAN NXE리즈 개요 TWINSCAN NXE리즈는 네덜란드의 첨단 반체 장비 제업체인 ASML이발한 극자외선(EUV, Extreme Ultraviolet) 리소그래피 장비의 대표적인 제품군이다. 이 시리즈는 반도체 제 공정에서 회 패턴을 웨이에 정밀하게쇄하는 데 사용며, 7nm 이하의 초미세 공정 기술을 가능하게 하는 핵심 장비로 평가받는다. T…